納米元件創(chuàng)新產(chǎn)學(xué)聯(lián)盟
「納米元件創(chuàng)新產(chǎn)學(xué)聯(lián)盟」由國(guó)家納米元件實(shí)驗(yàn)室成立，目的是為在未來(lái)5~10年進(jìn)入次10納米后矽時(shí)代的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)急需的高階人才。
在22日聯(lián)盟成立大會(huì)中，出席者包括國(guó)科會(huì)納米國(guó)家型科技計(jì)畫總主持人吳重雨、微電子學(xué)門召集人曾俊元、中研院院士胡正明、旺宏總經(jīng)理盧志遠(yuǎn)、臺(tái)積電副總暨技術(shù)長(zhǎng)孫元成、美商應(yīng)用材料(Applied Materials)臺(tái)灣區(qū)總經(jīng)理余定陸、科林研發(fā)(Lam Research)亞太區(qū)總裁廖振隆等。
半導(dǎo)體大廠旺宏也捐贈(zèng)蝕刻機(jī)臺(tái)給國(guó)家納米元件實(shí)驗(yàn)室，在聯(lián)盟中與學(xué)界共同開(kāi)發(fā)10納米以下的存儲(chǔ)器元件技術(shù)；目前國(guó)家納米元件實(shí)驗(yàn)室有一條6寸生產(chǎn)線，以及一條簡(jiǎn)易型的8寸線，實(shí)驗(yàn)室在2009年研發(fā)出16納米SRAM雛形，此技術(shù)可延伸至5納米到7納米。
